用于接地监控器的 SCS 工作站监控器检查器附件可用于工作区域或位置,以监控过程工具的接地阻抗,包括但不限于半导体,磁盘驱动器和平板环境。接地阻抗监控可用于工具内多达三点的金属接地。
触摸屏幕以打开电源扬声器和耳机警报输出